“光刻机”这个名字翻译不准确,很有误导性,很多人误认为光刻机通过物理接触在晶体硅表面上“刻”出集成电路来,就像电脑刻字一样。其实,芯片不是“刻”出来的,而是“照”出来的。所以,光刻机叫“集成电路投影仪”更贴切。
当制造芯片的晶圆进入光刻工艺阶段时,光刻机通过掩模版把集成电路图投影到晶圆表面的光刻胶上,光刻胶曝光后,通过化学药液把曝光区域蚀刻,然后清洗,这样,集成电路的图形就出来了。光刻过程和传统照相的照片冲印是一个道理,光线通过底片让相纸感光,然后把感光的相纸放在药液里显影、定影。
一块芯片要经过数十次甚至数百次光刻,光刻后的若干工艺还需要几个星期,然后才能进入封装阶段。
芯片制造技术日新月异,但芯片制造的大多数核心技术出自贝尔实验室,贝尔实验室为信息技术革命所做的贡献永垂青史。
据《羊城晚报》